设备简介：
◆ 硅片Si、化合物(GaAs, InP, SiC, GaN)样片表面缺陷的检查分析，包含微粒、划伤、坑点、污染、痕迹，同时也可以添加PL功能用以检测某些外延EPI缺陷。该设备可以兼容透明片和不透明片。
KLA Candela?8720面缺陷检测设备是针对半导体材料的表面缺陷的检查分析仪器。该设备利用双束激光扫描样品的整个表面，通过5个频道（散射光频道、反射光频道、相移频道、Z频道以及PL频道）的探测器所收集到的信号，快速的将缺陷（包括微粒、划伤、坑点、污染、痕迹等）进行分类，统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸，后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的标准，可以给出检测样品合格与否的判断。同时8720型号可以针对化合物GaN外延材料进行高精度的外延缺陷(极细裂痕，凹坑等)检测，在化合物外延领域拥有很好的市场占有率。
◆ 标准夹具从2英寸到8英寸的样品；
◆ 可用于不透明及透明的材料的表面缺陷检测；
◆ 可侦测的缺陷类型：颗粒，划伤，突起，凹坑，水渍等；
◆ 可侦测化合物GaN外延材料的专有外延缺陷；
◆ 自动传输模式8720；
◆ 高精度的颗粒缺陷灵敏度（60nm直径）；
◆ 强大的自动缺陷分类、统计分布和判别软件。缺陷分布图以及检测报告内的每一个缺陷都有4个频道拍到的照片储存在设备内部，这些照片可以辅助技术人员分析缺陷的成因及进行相关验证。
◆ 内部的过滤器可以保证内部的洁净环境为10级，防止内部污染的同时该仪器还能长期保持稳定准确。拥有優秀的售后服务保障体系。
◆ 化合物半导体：GaAs，InP, SiC，GaN
◆ 硅基器件：功率器件，MEMS，射频MEMS
◆ 光通讯：石英材料类
